當今的模擬和功率半導體技術（包括 GaN 和 SiC）要求進行參數測試，以便最大限度提高測量性能、支持廣泛的產品組合以及最大限度降低測試成本。40 多年來，吉時利已經在關鍵應用中解決了這些問題以及其他重要挑戰，這些應用包括工藝整合、工藝控制監控、生產芯片分類（例如，晶片驗收或已知的良好芯片測試），以及可靠性。

S540 參數測試系統是一個全自動化的 48 引腳參數測試系統，適用于高達 3kV 的功率半導體器件和結構的晶片級測試。完全集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內的最新復合功率半導體材料進行優化，可以在單次測試觸摸中執行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執行所有晶片級參數測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施
• 在最高達 3kV 的條件下執行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
• 在高速、多引腳、全自動測試環境中實現低電平測量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環境 (KTE) 系統軟件支持輕松進行測試開發和快速執行
• 非常適合于過程集成、過程控制監控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用
• 通過最大程度減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現實驗室級測量性能