吉時利S530半導體參數參數系統是為處理工藝控制監測，工藝可靠性監測和器件特性測量中要求的DC和C-V測量而設計的。這些參數參數系統用于各種器件及工藝的量產環境和實驗室環境。對特殊應用，S500集成參數系統提供了半定制配置功能。

S530參數測試系統功能

• 靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置
• 行業標準的 KTE 軟件環境
• 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數的測試
• 通過全新系統參考單元 (SRU) 進行全自動系統級校準符合最新質量標準
• KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統正常運行時間和提高數據完整性
• 內置的瞬態過電壓和/或過電流事件保護可最大程度地減少代價高昂的系統停機或對晶片造成損壞
• 符合 ISO-17025 校準要求并支持 IATF-16949 合規性
• 提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S530低電流參數測試系統

線序和針數：高達60針；

SMU通道數：2-8條；

最大電壓：200V;

最大電流：1A

S530高壓參數測試系統

SMU通道數：2-8條；

最大電壓：1100V;

最大電流：1A

S530參數測試系統亮點：

高達1MHz的C-V測量功能；

兼容全自動探針裝置；

20W SMUs提供高達1A或200V;

1kv SMU到任何系統引腳（S530高電壓）；

pA電流測量功能（S530低電流）；

多達60針Kelvin(S530高電壓或S530低電流)